伟德国际娱乐(大连)有限公司|加工销售CMP RETAINER RING

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主要代理品牌汇总

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CMP RETAINER RING

 

CMP吸附膜

CMP RETAINER RING 半导体生产用化学机械研磨法用保持环

伟德国际娱乐场加工销售半导体用高精密CMP RETAINER RING备件产品,可提供美国应用材料(AMAT),日本荏原(EBARA),SPEEDFAM, NOVELLUS,东京精密ACCRETEH等主要半导体设备商的及各小厂的6英寸,8英寸,12英寸的CMP RETAINER RING的反向设计及生产,精密高,产品质量稳定,世界各大厂商采用业绩非富。



产品介绍:

AMAT设备为代理的树脂与金属结合型CMP RETAINER RING结构
CMP RETAINER RING 结构图

主要构成:

・PPS树脂部分采用以下三家厂商材料,

 与原厂保持一致,根据客户需要提供材质。

 KUREHA(日本)

 QUADRANT TECHTRON(美国)

 ENSINGER(德国)

 其它材质PEEK树脂,PET树脂等也有使用,请 咨询。

 

・金属部分采用不锈钢材料,SUS304,

比原厂的SUS303更耐腐蚀。

EBARA设备为代表为全树脂型CMP RETAINER RING结构
EBARA CMP RETAINER RING结构

主要结构:

・全PPS树脂结构,同样采用以下三家厂商材料,

 与原厂保持一致。

 KUREHA(日本)

 QUADRANT TECHTRON(美国)

 ENSINGER(德国)

 其它材质PEEK树脂,PET树脂等也有使用,请 咨询。

特殊钨制程用PEEK材质CMP RETAINER RING结构
特殊钨制程用CMP RETAINER RING

主要构成:

・树脂部分采用PEEK+40%炭素材料,

 硬度与耐磨性较PPS要好,消耗亦减少。

 

・金属部分采用不锈钢材料,SUS304,

比原厂的SUS303更耐腐蚀。

 

 

产品主要特点:

CMP RETAINER RING镜表检查 CMP RETAINER RING背面平面研磨

提供树脂表面的镜面抛光研磨:

此项服务可以让最终用户的DUMMY研磨时间降低,同时降低相关耗材的消耗,节约客户成本,提供客户生产效率。

上图为表面镜表研磨后采用特殊光学干涉检查装置,检查抛光后的树脂表面粗糙度照片,镜表粗糙度(Mirror Surface roughness, )控制在Ra 0.588~0.881 (µm)

提供背部的金属或树脂的平行度研磨:

产品的上下表面的平行度会影响被研磨晶圆的精准度及晶圆加工过程中的各部位的研磨率,为保证被加工晶圆的精密度,出货前做背部的平行研磨,车削产品件的精度平行度在50µm,背部平行研磨后的产品件的平行精度会隆到15µm,大大提高了被加工体的精密。

 

可以提供的相关规格

CMP RETAINER RING AMAT

200MM AMAT设备用

PPS与不锈钢接合型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING AMAT

200MM AMAT设备用

全PPS树脂无沟槽型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PEEK材质

200MM AMAT设备用

PEEK+40%炭素材料

与不锈钢接合有沟槽型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PEEK材质

200MM AMAT设备用

PEEK+40%炭素材料

与不锈钢接合无沟槽型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PEEK

150MM 全PEEK+40%炭素材料

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PEEK

200MM 全PEEK树脂

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PET材质

200MM 全PET材质研磨用

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PET

150MM 全PET材质研磨用

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PET-ETX

200MM 全PET-ETX

材质研磨用

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PBT

200MM 全PBT材质研磨用

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING NOVELLUS

200MM NOVELLUS EXTENSION RING

AURIGA SERIES

有沟槽系列

CMP RETAINER RING NOVELLUS

200MM NOVELLUS EXTENSION RING

AURIGA SERIES

无沟槽系列

CMP RETAINER RING NOVELLUS

200MM NOVELLUS

AURIGA GUIDE RING

 

CMP RETAIENR RING NOVELLUS

150MM NOVELLUS

AURIGA GUIDE RING

CMP RETAINER RING EBARA

300MM EBERA G3

全树脂系列附密封橡胶

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING EBARA

200MM EBARA

全树脂系列

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER REING EBARA

200MM EBARA

全树脂系列

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PETER WOLTER GUIDE RING 150MM PETER WOLTER GUIDE RING
CMP RETAINER RING AMAT300

300MM AMAT设备用

PPS与不锈钢接合型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING EBARA300MM

300MM EBARA G2

全树脂系列

CMP RETAINER RING

CMP RETAIANER RING EBARA 300MM

300MM EBARA G2S

全树脂系列

CMP RETAINER RING

CMP RETANER RING EBARA 300

300MM EBARA PEEK+40%炭素

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING AMAT 300MM AMAT MEMBRANE DIAPHRAGM CMP RETAINER RING SPEEDFAM 200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM
CMP RETAINER RING SPEEDFAM 200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM 可以加工的设备商名:

AMAT(MIRRA, REFREXTION),

EBARA,NOVELLUS,

ACCRETECH, SPEEDFAM,

PETER WOLTER

       

 

加工料号举例(以下料号以外有大量生产实绩)

300mm    C-3812-378-0001
300mm    C-3812-431-0001
200mm    C-3812-393-0001

AMAT 300mm PPS + SUS                                              0040-62020

  1. AMAT 300mm Full PPS                                                   0040-88203
  2. AMAT 200mm PEEK+40%C (no glove)                     0040-33583
  3. AMAT 200mm PEEK+40%C                                           0040-51156

0040-94632

    • AMAT 200mm Titan Head N                                        0040-79583
    • AMAT 200mm Titan Head HE                                      0040-80952
    • AMAT 200mm AEP                                                          0040-77243
    • AMAT 200mm AEP2                                                        0040-78263

     

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相关技术介绍

・半导体IC芯片制造CMP制程介绍
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 公司地址:大连市金州区金马路120号福佳国际大厦611室   邮编:116000   电话号码:0411-8718-9285    传真号码: 0411-8718-9293

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